純度99.999999999%！“洛陽造”電子級多晶硅中試成功

昨日，一塊塊散發(fā)金屬光澤的深灰色電子級多晶硅，在洛陽中硅高科技有限公司多晶硅制備車間新鮮出爐，它們的目的地，是麥斯克電子材料股份有限公司等下游集成電路企業(yè)。

“龍門實驗室聯(lián)合企業(yè)推進的重大項目‘先進硅基光電功能材料’前不久已中試成功，標志著實驗路線正式得到工藝驗證?！痹邶堥T實驗室，智能裝備先進材料科創(chuàng)中心主任潘昆明難掩心中激動。

中硅高科，誕生中國第一條規(guī)?；a多晶硅生產線的地方，如今在與龍門實驗室的“共舞”中，找到了創(chuàng)新突圍新的方向——電子級多晶硅。

電子級多晶硅是制造半導體芯片的原材料，被稱為電子信息產業(yè)的“糧食”。以電子級多晶硅為原材料制造的硅片，經過后期的打磨、拋光、蝕刻、光刻、封裝等環(huán)節(jié)，變身一顆顆高附加值的芯片，嵌入到手機、電腦、汽車等終端產品中。

潘昆明介紹，相比起光伏級多晶硅99.9999999%，也就是9N的純度，電子級多晶硅的純度要求高達11N，是前者的100倍?！按騻€比喻，就好像在國際標準泳池里最多摻一滴墨水，再多純度就不合格了。”潘昆明說。

復雜技術壁壘下，世界電子級多晶硅生產企業(yè)主要集中在美、日、德三國。我國半導體硅片制造用的電子級多晶硅95%以上依賴進口。突破電子級多晶硅生產技術，對于保障我國集成電路產業(yè)的戰(zhàn)略安全意義重大。

去年以來，龍門實驗室牽頭聯(lián)合中硅高科和麥斯克公司，打通電子級多晶硅制備和應用等多個環(huán)節(jié)，逐步突破超低金屬雜質控制等核心關鍵技術。

在項目推進過程中，龍門實驗室充分發(fā)揮自身基礎研究優(yōu)勢，為研發(fā)提供化學、分子動力學等方面的分析和模擬?！拔覀兺ㄟ^理論推導和計算模擬，使得數(shù)以百計的工藝組合效果在電腦上精確推導，大大減少企業(yè)在生產線上試錯的成本，提高了研發(fā)的質效?！迸死ッ髡f。

自去年3月揭牌以來，龍門實驗室既向上緊盯國家戰(zhàn)略需求，聚焦河南“十大戰(zhàn)略”，又向下扎根本地市場，充分發(fā)揮洛陽十大產業(yè)集群優(yōu)勢，凝練了“先進硅基光電功能材料”等6個重大項目，涵蓋農機裝備、光電元器件、電子化工材料等領域。這些項目技術需求均來自中信重工、中國一拖等洛陽重點企業(yè)，科研成果直接服務于企業(yè)發(fā)展，實現(xiàn)創(chuàng)新鏈與產業(yè)鏈的“無縫對接”。

“未來，我們將持續(xù)推進6個重大項目，力爭年底前取得一批標志性科研成果，助力洛陽‘風口’產業(yè)發(fā)展以及國家高水平科技自立自強?！敝袊こ淘涸菏俊堥T實驗室主任樊會濤語氣堅定地說。

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